Fluorez™ PFPE 電子氟化液(冷凍氟化液)
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電子氟化液PFPE為一種無色透明、無味、無毒性且具熱穩定與化學惰性之全氟化液體,由於其分子結構上之碳原子與氟原子形成緊密鍵結,氟化液具有極佳的安定性、不會與活性材料如金屬、塑膠和彈性體起反應而及其穩定,不論在高溫或低溫下更具有極佳之不導電與絕緣性質。市場上較為人知悉的電子氟化液應該是蘇威® (Solvey®) 的Galden® PFPE以及美商3M® 的Fluorinert®。但因為其寡佔性強,價格相對較不親民。氟化液極適合於半導體與電子零件製造工業中許多單相熱傳導應用,用以取代會導電的傳統冷媒與水。氟化液工作溫度範圍是-60 °C~165 °C,適用於蝕刻機、離子注入機、測漏設備 (gross leaking test)的高低溫槽,衝擊測試等諸設備上。電子氟化液PFPE易揮發不殘留,不導電的特性同時也能用於電子零件的清洗。氟化液具有零臭氧消耗。不受美國環境保護局(EPA)使用限制, 也不受揮發有機物管理條例約束,亦不增加地表的臭氧形成造成環境損害。
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