|
透明(高潔淨度)全氟橡膠有了更經濟的替代選擇，孚瑞科技推出台灣製造的透明氟橡膠FKM/Viton(E-1270T)。E-1270T為孚瑞科技Femrex Plus的新成員，顯目的透明 (Crystal clear) 外觀，有別於傳統氟橡膠黑、白、綠、褐、的基本色調。孚瑞科技開發透明氟橡膠的其目的就是為了取代過去僅有昂貴的全氟橡膠 (FFKM) 才擁有的高潔淨與低粒子釋出特性。
孚瑞科技的E-1270T維持氟橡膠的基礎分子架構，並使用有機物鍵結聯繫。有別於傳統氟橡膠混練中因為使用碳黑與礦物填充物，造成電漿蝕刻或是動態密封的過程中會釋出密封件裏的填充物 (fillers)；使用端為了解決這樣的問題，多透過採購昂貴的全氟橡膠(FFKM)來解決。而孚瑞科技的 E-1270T採用奈米級原料及製程，揚棄傳統橡膠製備工藝中所使用的微粒或粉末填隙技術，造就Femrex Plus E-1270T成為一超高潔淨度與低粒子釋出的密封材料，也同時也維持著FKM/Viton該有的抗化耐溫性。孚瑞科技的 E-1270T特別適合應用在有抗密封件微粒污染需求的半導體製程，真空應用與食品生產。即使在嚴苛的電漿環境下，Femrex Plus E-1270T亦不會汙染蝕刻槽內的樣本與設備。
高潔淨度的FKM/Viton符合目前各大氟膠供應商努力開發的趨勢，我們很榮幸能成為國內第一家製造與量產的公司。孚瑞科技透過 E-1270T的推出，再次用行動證明我們在氟橡膠領域的投入與專業。我們期勉孚瑞科技成為踏實的氟橡膠供應商，孚瑞科技堅持品質，也將在產品開發上不斷向前。
Femrex Plus E-1270T的產品特性:
- 低摩擦係數，耐磨損
- 氣體密封性佳
- 耐氧氣電漿
- 高潔淨度，低釋出
- 符合FDA的食品規範
- 比同等級高潔淨度FFKM低的價格
Femrex Plus E-1270T的應用:
- 電漿製程(Plasma)
- 光微影(Lithography)
- 物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition, PVD)
- 化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition, CVD)
- 蝕刻 (Etch)
- 半導體清潔 (Cleaning)
- 真空相關應用 (Vacuum applications)
- Dynamic sealing
- Static sealing
- Carrier
Femrex Plus E-1270T可取代:
於高潔淨度應用方面可替代原全氟橡膠:
- Perlast® G74P
- Kalrez® 9100, 8002, 8085
|
Femrex Plus